產(chǎn)品參數(shù):
型號 |
TS-PL10MA |
真空腔規(guī)格 |
材質(zhì)316不銹鋼 |
腔體尺寸 |
L200mm*W270mm*H200mm |
電極 |
平板氣浴電極 材質(zhì)6061-T6鋁合金 |
功率電極 |
1 |
接地電極 |
1 |
電極尺寸 |
180mm *230mm(最大可處理產(chǎn)品尺寸規(guī)格) |
頻率 |
13.56MHz |
功率 |
0-300W連續(xù)可調(diào),精度1W,可在設(shè)備運行中隨時調(diào)整參數(shù) |
氣體控制 |
精密針閥式浮子流量計, 0-1000ml |
氣體通道 | 2路(可增加) |
真空度測量儀器 |
2色顯示式高精度數(shù)字式壓力開關(guān)(SMC) |
控制方式 |
4.3寸工業(yè)控制觸摸屏,全手動控制和全自動控制兩種控制方式 |
控制軟件功能 |
界面顯示實時工作狀態(tài) |
電極板配置 |
配備3個卡槽位(接地電極),極板間距離可調(diào)整,可按需求調(diào)整極板位置 |
設(shè)備規(guī)格尺寸 |
長500mm 寬550mm 高800mm |
產(chǎn)品特點:
? 卓越的密封性腔體:采用進口316不銹鋼腔體,軍工級的高真空度真空腔體設(shè)計及制造工藝。
? 高密度等離子電源技術(shù):采用進口等離子電源電路技術(shù),確保出眾的清洗效果。
? 獨有放電技術(shù):特殊處理的放電裝置,確保形成穩(wěn)定均勻的等離子體。
? 高精度氣體流量監(jiān)測系統(tǒng):兩種工藝氣體配置(氬氣、氧氣等非腐蝕性氣體),雙路氣流控制,比例可調(diào),采用MFC質(zhì)量流量計、氣體管路及閥件。
? 優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品部件:產(chǎn)品部件采用國內(nèi)外頂尖優(yōu)質(zhì)品牌,確保設(shè)備性能優(yōu)越。
? 數(shù)字計時單元:1-9999s選擇范圍時間顯示,處理過程結(jié)束后自動終止。
? 適用形狀復(fù)雜樣品:清洗各種復(fù)雜形狀的產(chǎn)品,包括內(nèi)孔內(nèi)壁,全方位均勻清洗。
? 處理全程無污染 :等離子清洗機本身是很環(huán)保的設(shè)備,無產(chǎn)生任何污染,處理過程也無產(chǎn)生任何污染。