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等離子清洗機
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首頁 行業(yè)應(yīng)用 太陽能電池板硅晶片邊緣蝕刻

太陽能電池板硅晶片邊緣蝕刻

等離子蝕刻機是專門設(shè)計用來蝕刻的,所用行業(yè)包括太陽能行業(yè)單晶硅、多晶硅、非晶硅帶太陽能電池片(cell)和硅片(wafer)的劃片(切割切片):電子行業(yè)單晶晶硅硅片(wafer)的分離切割。

等離子刻蝕機應(yīng)用在太陽能電池硅片邊緣隔離及背部表面氮化物或PSG(磷硅酸鹽玻璃)去除,微波等離子系統(tǒng)具有RF射頻刻蝕系統(tǒng)不可比擬的高刻蝕速率,另一方面直接微波等離子體技術(shù)使電池片溫度保持在很低的水平從而避免產(chǎn)生熱應(yīng)力。

提供擴散后的硅片,對其進行一次等離子刻蝕,去除硅片四周的磷硅玻璃,隨后,將等離子刻蝕后的硅片按照常規(guī)流程進行濕法刻蝕.本發(fā)明提供的太陽能電池邊緣刻蝕方法,通過增加一次傳統(tǒng)的等離子刻蝕,去除擴散后的硅片周邊的磷硅玻璃,而使中間大部分的面積上保留磷硅玻璃的覆蓋,從而在后續(xù)的濕法刻蝕過程中保護擴散層不受氣相腐蝕,提高方塊電阻穩(wěn)定性;

同時利用硅片周邊的裸露硅本體的疏水性質(zhì)防止刻蝕液浸潤硅片的上表面.兩次刻蝕后,電池片的并聯(lián)電阻和填充因子明顯提高,漏電流顯著降低.從而實現(xiàn)低成本,高穩(wěn)定性,高并聯(lián)電阻的濕法刻蝕.

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